芯明天壓電納米位移臺
納米位移臺/壓電位移臺/壓電平移臺/壓電納米位移臺
納米位移臺即為可產(chǎn)生納米級步進(jìn)位移的位移平臺，精度在納米級。“壓電”是指由壓電陶瓷作為驅(qū)動源，分多種驅(qū)動方式，如直驅(qū)式、放大機(jī)構(gòu)式、馬達(dá)式。三者相比，響應(yīng)速度快的為直驅(qū)式結(jié)構(gòu)的壓電納米位移平臺，行程較大的是壓電馬達(dá)式壓電納米位移平臺，可達(dá)毫米、厘米甚至米量級。
直驅(qū)式機(jī)構(gòu)-壓電納米位移臺
直驅(qū)式機(jī)構(gòu)的壓電納米位移臺具有多種外觀，如柱形、環(huán)形、平臺型等。結(jié)構(gòu)如下圖所示。柱形更適于單軸運(yùn)動、單螺紋負(fù)載固定、空間受限的應(yīng)用。而平臺型可輸出1至3維的位移，適于單軸或多軸的位移要求的應(yīng)用。
參數(shù)舉例
型號：P66.XY
運(yùn)動軸：X、Y
位移范圍：34µm/軸
承載能力：7kg
參數(shù)舉例
型號：PSt150/10/60VS15
運(yùn)動軸：Z
位移范圍：57µm
推力：2300N
放大式機(jī)構(gòu)-壓電納米位移臺
放大式機(jī)構(gòu)的壓電納米位移臺是通過分析、設(shè)計特殊鉸鏈結(jié)構(gòu)，將壓電陶瓷產(chǎn)生的位移進(jìn)行放大輸出，放大倍數(shù)自由設(shè)計，一般輸出范圍可在幾百微米甚至毫米。外觀可分為平臺式和橢圓結(jié)構(gòu)式。
參數(shù)舉例
型號：P11.XYZ
運(yùn)動軸：X、Y、Z
位移范圍：110µm/軸
承載能力：600g
橢圓結(jié)構(gòu)
參數(shù)舉例
型號：P06.X40A
運(yùn)動軸：Z(收縮)
位移范圍：41µm
出力：125N
型號：P06.X500R
運(yùn)動軸：Z(膨脹)
位移范圍：560µm
出力：100N
17051647888
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