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芯明天壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺是通過壓電陶瓷驅(qū)動進(jìn)行精密角度調(diào)整，內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，確保了產(chǎn)品具有較高的偏轉(zhuǎn)精度和穩(wěn)定性，可產(chǎn)生θx、θy偏擺或θz旋轉(zhuǎn)，或同時配有直線運(yùn)動，且響應(yīng)速度快。在半導(dǎo)體技術(shù)、通信與集成光學(xué)、光學(xué)儀器設(shè)備、醫(yī)療生物顯微設(shè)備、航空航天等高精度定位系統(tǒng)中廣泛應(yīng)用。

芯明天壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺

XD505.T0S是由芯明天研發(fā)設(shè)計(jì)的一款大負(fù)載的二維偏擺臺,可產(chǎn)生θx、θy兩軸偏轉(zhuǎn)。它的承載能力可達(dá)20kg，負(fù)載后仍可高動態(tài)、高精度運(yùn)動，配置閉環(huán)傳感器，分辨率0.01μrad，尺寸為140×140×40mm^3，同時中心具有60×60mm^2的通孔，非常適用于透射光應(yīng)用，實(shí)物外觀如下圖所示。

產(chǎn)品特點(diǎn)

•θx、θy二維偏轉(zhuǎn)

•承載達(dá)20kg

•開閉環(huán)版本可選

•中心通孔：60×60mm^2

產(chǎn)品應(yīng)用

•透射光應(yīng)用

•大型負(fù)載應(yīng)用

•光束偏轉(zhuǎn)/穩(wěn)定

•激光合束

技術(shù)參數(shù)

型號	XD505.T0S
運(yùn)動自由度	θx、θy
傳感器	SGS
標(biāo)稱偏擺角度（0~120V）	0.28mrad/軸
偏擺角度（0~150V）	0.35mrad/軸
分辨率	0.01μrad
空載諧振頻率	4.6kHz/軸
帶載諧振頻率@5kg	θx 0.4kHz/θy 0.32kHz
階躍時間	50ms
承載能力	20kg
靜電容量	14.4μF
材質(zhì)	鋼、鋁
重量（含線）	2100g

配套控制器

E70系列壓電控制器非常適用于驅(qū)動XD505.T0S壓電偏擺臺，它是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的壓電陶瓷控制器，可通過串口、USB或網(wǎng)口進(jìn)行數(shù)字通信的三通道壓電控制器。

壓電偏擺臺典型應(yīng)用舉例

1.顯微成像

隨著科技的不斷發(fā)展，人們對材料和生物微觀世界的探索越來越深入，超高分辨率顯微成像技術(shù)也越來越重要。超高分辨率顯微成像技術(shù)通過使用前沿的光學(xué)系統(tǒng)和靈敏的成像設(shè)備來呈現(xiàn)高清的細(xì)節(jié)，壓電偏擺臺是其中非常重要的部件之一。它能帶動樣本進(jìn)行θx、θy偏擺或θz旋轉(zhuǎn)，或z向升降調(diào)平與聚焦，可選擇內(nèi)置精密傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，具有非常高的運(yùn)動控制精度，偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)亞微弧度、定位穩(wěn)定時間為毫秒量級，使顯微成像分辨率大幅提升。

2.激光合束

激光合束對準(zhǔn)的裝置涉及激光合束對準(zhǔn)技術(shù)領(lǐng)域、光電干擾技術(shù)領(lǐng)域及激光致盲干擾技術(shù)領(lǐng)域，系統(tǒng)目的是實(shí)現(xiàn)對目標(biāo)的精密跟蹤與瞄準(zhǔn)。激光發(fā)射系統(tǒng)是對激光束進(jìn)行擴(kuò)束、準(zhǔn)直、聚焦的光學(xué)系統(tǒng)。為消除大氣抖動、湍流等因素對激光傳輸?shù)挠绊?，常采用自適應(yīng)光學(xué)技術(shù)，通過實(shí)時修正可調(diào)壓電偏擺臺，提高激光合束對準(zhǔn)精度保證激光束聚焦良好。

注：圖片來源于網(wǎng)絡(luò)

3.光束掃描

偏擺臺/鏡是現(xiàn)代光機(jī)系統(tǒng)的重要組成部分之一，主要應(yīng)用在高精光機(jī)系統(tǒng)的掃描跟蹤、光路調(diào)制和抖振抑制等。壓電偏擺臺可實(shí)現(xiàn)快速光束掃描，在保證精度的同時，并能保證快速跟蹤。非常適合應(yīng)用在新一代的空間光機(jī)系統(tǒng)，如激光通信平臺、空間望遠(yuǎn)鏡和偵l查相機(jī)等。

4.空間擾動模擬系統(tǒng)

壓電偏擺臺可以模擬空間中的微小擾動，如微小振動、微小旋轉(zhuǎn)等，以便測試和驗(yàn)證部件的姿態(tài)，控制系統(tǒng)性能。通過對部件在壓電偏擺臺上的測試，可以評估其姿態(tài)或光路控制系統(tǒng)的性能，優(yōu)化其控制算法，提高其穩(wěn)定性和精度，從而確保部件能夠在太空器件中成功完成任務(wù)。

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