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新品推薦|P66.X2K-B1Z一維高精度真空壓電納米定位臺

更新時間： 2024-08-06

P66系列壓電納米定位臺以壓電陶瓷為驅動源，內部采用直驅或放大機構設計的1~3維運動的壓電位移平臺，可達毫秒級響應、納米級定位精度，并可選配高精度傳感器進行閉環精密定位控制。該產品非常適用于定位應用，如干涉中光路徑長度修正，顯微或掃描應用中的樣品定位等。

1~3維P66系列壓電納米定位臺

P66.X2K-B1為P66系列新推出的一款一維真空壓電納米定位臺。該產品采用直驅結構，X向最大位移2.4μm，開環分辨率可達0.5nm，承載可達2kg，諧振頻率可達12kHz，它尺寸為70mm×85mm×20.5mm，體積非常小巧，定制航空連接器，可在真空環境下使用，芯明天可定制真空工作環境使用產品達2E-11mbar。P66.X2K-B1產品外觀如下圖所示。

產品特點

一維X向運動

精度可達0.5nm

承載可達2kg

諧振頻率可達12kHz

毫秒級響應時間

定制采用航空連接器

真空版本，可選配閉環版本

產品應用

干涉

顯微/掃描

光學測量

微加工/精密控制

計量

技術參數

型號	P66.X2K-B1Z
運動自由度	X
驅動控制	1路驅動
標稱行程范圍（0~120V）	1.9μm
行程范圍（0~150V）	2.4μm
開環分辨率	0.5nm
空載諧振頻率	12kHz
帶載諧振頻率	10kHz@20g
階躍時間	2ms
靜電容量	0.58μF
工作溫度范圍	-20~80℃
承載能力	2kg
材質	不銹鋼、鋁合金
重量	310g

配套控制器

E53.C1K非常適用于驅動P66.X2K-B1Z壓電納米定位臺。它是一款小體積單通道壓電控制器，24VDC/1.5A供電，采用模擬或數字控制，通信接口為USB/RS-422/RS-232，帶寬10kHz，尺寸為148mm×27.5mm×80mm，體積小巧，易集成。

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